Cỗ máy mới nhất của ASML nặng 150 tấn và có giá khoảng 350 triệu USD, là thiết bị tiên tiến nhất trong ngành sản xuất chip. (Ảnh: Người đưa tin)
Máy hoạt động bằng cách bắn 50.000 giọt thiếc nóng chảy mỗi giây trong buồng chân không. (Ảnh: Người đưa tin)
Mỗi giọt thiếc được bắn laser hai lần: lần đầu dẹt giọt thiếc, lần hai tạo ra plasma siêu nóng tới 220.000°C – nóng hơn cả bề mặt Mặt Trời. (Ảnh: Smartprix)
Plasma này phát ra tia cực tím EUV có bước sóng 13.5nm – ánh sáng chỉ xuất hiện tự nhiên ở vành nhật hoa. (Ảnh: Reuters)
Tia EUV được dẫn qua hệ gương siêu mịn, rồi chiếu lên mặt nạ mạch điện và khắc họa tiết lên tấm silicon phủ chất nhạy sáng. (Ảnh: WIOT Group)
Độ chính xác cực cao cho phép in các chi tiết nhỏ tới 8nm, giúp tạo ra các chip hiện đại với hàng trăm tỷ transistor. (Ảnh: WIRED)
Toàn bộ quá trình phải diễn ra trong môi trường chân không tuyệt đối vì ánh sáng EUV bị hấp thụ bởi không khí và kính thông thường. (Ảnh: Analytics India Magazine)
ASML đang nghiên cứu thế hệ tiếp theo có khẩu độ gương lớn hơn (hyper-NA) để in chi tiết nhỏ hơn nữa, dù chi phí và kích thước máy sẽ tăng vọt.(Ảnh: TrendForce)
Mời quý độc giả xem thêm video: 6 Cỗ Máy siêu To Khổng Lồ Lớn nhất Thế giới hiện nay.
Thiên Trang (TH)
Nguồn Tri Thức & Cuộc Sống : https://kienthuc.net.vn/khoa-hoc-cong-nghe/kinh-ngac-co-may-nong-hon-ca-mat-troi-tao-ra-chip-cho-tuong-lai-2095214.html